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低温泵作业原理

来源:行业新闻 发布时间:2024-03-24 02:26:29 浏览量:71 次 【返回上一页】

  低温泵的作业原理是运用气体在超低温外表产生物理吸附而到达排气的作用,是取得洁净真空的一种有用、方便的办法。

  低温泵能到达极高线 Pa),有排气速度快、无油和装置方向不受约束等长处,其结构如图1所示。

  低温泵的一级冷台上,设置屏蔽罩和挡板,温度维持在80K。二级冷台维持在15K,上面设置低温罩和活性炭吸附剂。

  水蒸气凝结在80K屏蔽罩和80K挡板上;氮气、氧气和氩气凝结在15K低温罩上;氢气、氦气和氖气被吸附在15K低温罩内侧的吸附剂上。低温泵可以对一切气体排气,可是假如吸附的气体量过多,则排气速度下降。这时,需要将低温泵加热,放出吸附的气体后,从头运用。